全自动槽式智能清洗系统

设备介绍：

本系列机型根据液晶面板特性研制而成，由化学洗剂清洗、DI水漂洗、慢拉脱水、热风干燥、自动搬运系统、循环过滤系统、全封闭罩、废热回收系统及上下料传送系统等组成。配以PLC及彩色人机见面控制，全自动运行。

设备特点：

1.一体化、模块化结构，占地小，容量大，清洗产能高；

2.行业单向超声输出，空化，清洗洁净度高;

3.特的分离式自动搬运机械手，稳定、便于维护保养；

4.配套均匀的气压鼓泡系统，有机结合超声波，满足市面任一种基板清洗特性;

5.可选配热能回收系统，大幅度降低能耗;

6.PLC+彩色人机界面控制，多层次密码权限，工艺参数随机可调，工作状态可视。

设备应用：

用于液晶板制程中切裂后的精密清洗干燥。